スパークイオン源質量分析法による高純度酸化アルミニウムの不純物分析(<特集>無機材料分析のためのスペクトロメトリー)
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概要
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5N(99.999%)クラス高純度酸化アルミニウム(アルミナ)中の不純物元素の定量をスパークイオン源質量分析法で試みた.マグネシウム,ケイ素以外の多くの元素は最大存在比をもつ同位体の一価イオンスペクトル綿を分析綿として用いることができた.正確な定量を行うため,アルミニウムをベースとする各元素の相対感度係数を求めた.相対感度係数は実試料と同じ製法で12元素の不純物を含む試料を調製し,ICP-AESなどの湿式化学分析で含有量を検定することによって求められた.相対感度係数は酸化物から気体原子が生成するときの生成熱とイオン化電圧の2乗の積に良い相関を示した.本法の検出限界はマグネシウム0.9ppm,ケイ素2ppmで,その他の多くの元素は0.1〜0.5ppmの範囲であり,5Nクラスアルミナの純度分析法として,スパークイオン源質量分析法が有効であることを確認した.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1986-08-05
著者
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渡辺 弘美
住友化学工業 愛媛研
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梅崎 博
住友化学工業(株)基礎化学品研究所
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梅崎 博
住友化学工業(株)愛媛研究所
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佐々木 正夫
住友化学工業(株)高槻研究所
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馬田 洋一
住友化学工業(株)高槻研究所
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梅崎 博
住友化学工業 愛媛研
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