エチルバイオレット抽出/加熱気化導入誘導結合プラズマ発光分析法によるシリカ及びシリコン中の微量ホウ素の定量(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学)
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概要
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エチルバイオレット抽出による濃縮分離/加熱気化ICP-AESによるシリカ, シリコン中の微量ホウ素の定量法を開発した.本法は試料をHF-HNO_3で溶液化した時生成するBF_4^-をエチルバイオレットとイオン会合させ, トルエンに抽出し, それを加熱気化ICP-AESに導入してホウ素を定量するものである.抽出はpH4以上でほぼ定量的に行われた.加熱気化導入では, 気化温度が低く, H_2流量が多いほどピーク強度が増大した.諸条件を検討した結果, 検出下限1ng/mlが得られた.共存元素の妨害はほとんどなかった.本法によりシリカ中の約10ng/gのホウ素を再現性よく定量することができた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-11-05
著者
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