黒鉛炉原子吸光法による半導体用ホトレジスト中の超微量ナトリウム, カリウム及び鉄の定量
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概要
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アルゴンガス雰囲気の黒鉛炉原子吸光法を用いて, 半導体用材料であるホトレジスト中の超微量ナトリウム, カリウム及び鉄の定量方法を検討した.分析方法として, 酸分解法(硝酸+過塩素酸), アルカリ分解法(水酸化テトラメチルアンモニウム), 有機溶媒希釈法(アセトン)及び各種抽出法{熱水及び塩酸-4-メチル-2-ペンタノン(MIBK)}を用いて比較検討を行った.各分析方法の再現性も良く, 又分析法相互の定量値はよい一致を示した.試料前処理法の最適化を図ることにより数ppbレベルのナトリウム, カリウム及び鉄の迅速な定量が可能となった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1993-05-05
著者
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