レーザーアブレーション : 誘導結合プラズマ質量分析法の深さ方向分析への応用
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概要
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レーザーアブレーション(LA)/ICP-MS法の深さ方向の分析特性を調べた.検討には, 膜厚1.5μmのSnめっき鋼板を用い, レーザー光のデフォーカスの影響や出力, 発振周波数の影響について調べた.Snめっき鋼板については, 焦点位置から10mm程度レンズに近づけてデフォーカスさせたときが最適で, 200mJ以下の低出力, 1Hz以下の低発振周波数でμmレベルの深さ分解能が得られた.又, サンプリング速度は対象となる物質により異なり, 検討した7種の金属のうちCu以外の金属については, サンプリング速度と沸点が逆比例の関係にあった.LA/ICP-MSの応用として, TiN膜及び塗装鋼板の深さ方向分析を試みた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-12-05
著者
-
岩田 英夫
NKK中央研究所
-
坂下 明子
JFEテクノリサーチ株式会社分析・評価事業部京浜事業所
-
石橋 耀一
鋼管計測分析センター
-
望月 正
鋼管計測分析センター
-
石橋 耀一
日本鋼管
-
石橋 耀一
鋼管計測 分析セ
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