Ar+N_2雰囲気中で成膜した Fe-Co-Ti 合金薄膜の磁気特性
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概要
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The dependence of the soft magnetic and electric properties of Fe_<100-x-y>Co_xTi_y(0〓x〓2.5, 0〓y〓12.5)films on the N_2/(Ar+N_2)flow ratio during sputtering was studied. An Fe_<87.5>Co_<15.2>Ti_<11.25>N_δ film annealed at 300℃ for 1 h exhibits the initial permeability at 10 MHz of 2500 as well as the magnetic flux density of about 17.5 kG. The change in the initial permeability with the N_2/(Ar+N_2) flow ratio is discussed in relation to the grain size and lattice strain.
- 1998-04-15
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