ナノマシン
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概要
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ナノメータ単位の位置決めが可能なノンフリクションサーボシステムを内蔵した超精密加工機をマイクロ部品の複合超精密加工に適用し, 実例として単結晶ダイヤモンド工具を使用したφ1mmの能面の三次元フライス加工を紹介する。
- 1995-06-25
論文 | ランダム
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