3228 圧電マイクロアクチュエータによる浮上量制御スライダの開発(第 2 報)
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概要
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The current design of magnetic disk head sliders needs an extra margin of flying height for manufacturing tolerance or environmental variation. To reduce this margin, we have developed active head sliders. These sliders carry an unimorph piezoelectric micro-actuator and their flying height can be controlled. After simulating the piezoelectric deflection and flying characteristics, we designed two types of active head sliders and fabricated them by silicon micro electro-mechanical systems (MEMS) processing. We solved some fabrication problems left in our previous report and optically observed the slider change its flying height as an electric voltage was applied to the micro-actuator.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
-
吉村 保廣
(株)日立製作所 機械研究所
-
徐 鈞国
株式会社日立製作所中央研究所
-
徳山 幹夫
日立
-
栗田 昌幸
(株)日立製作所中央研究所
-
徳山 幹夫
日立機械研
-
松本 真明
日立STR
-
徐 鈞国
日立機械研究所
-
栗田 昌幸
日立製作所 中央研究所
-
吉村 保廣
日立機械研
-
栗田 昌幸
日立機械研
-
土山 龍司
株式会社日立製作所中央研究所
-
土山 龍司
日立機械研
-
原田 武
日立機械研
-
栗田 昌幸
(株)日立グローバルストレージテクノロジーズ
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