512 音圧加振を考慮した超精密測定装置の振動低減手法の確立
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概要
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An ultra precision machine, such as semiconductor stepper should prevent from nm order level of vibration, which is generated by acoustic excitation due to inside cavity resonance. Two methods are proposed, to add a mass at inner structure by extended sensitivity analysis or to place a cover plate to reduce the acoustic excitation. Experiment on simple structure verifies the proposed methods.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-03-13
著者
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