622 半導体製造装置用アクティブ除振装置の開発
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概要
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To improve the productivity of the semiconductor equipment, an active isolation system was developed. The isolation performance was secured by passive elements. The stability of the system was secured by the active control. The modal-space control method and the floating action method were proposed as a control technique. The controller of each mode can be designed separately by applying modal-space control method. This control suppresses the rocking vibration and keeps accurately the equipment in its horizontal position. Moreover, the horizontal position under the operation can be maintained by the floating action control method. The utility of this isolation system was confirmed by the real machine test.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-09-01
著者
-
吉田 治
大林組技術研究所
-
吉田 治
大林組
-
辻 英樹
コマツ研究本部
-
光田 慎治
コマツ研究本部
-
伊藤 博幸
コマツ研究本部
-
寺村 彰
大林組技研
-
寺村 彰
大林組
-
辻 英樹
コマツ
-
伊藤 博幸
コマツ
-
伊藤 博幸
(株) コマツ
-
光田 慎治
コマツ
-
海老 大輔
コマツ電子金属
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