三極円筒型圧電素子を用いたX-Y-θ微動テーブル

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概要

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• This paper describes the basic concept of the micro X-Y-θ table system, which is a tool for manipulating microdevices and microorganisms, and the static and dynamic characteristics of the system. This microstep table consists in part of a cylindrical piezoelectric actuator. One electrode of the piezoelectric actuator is inside the cylindrical tube, and three pairs of electrodes are on the outside. The piezoelectric actuator is driven by a pulsatile waveform voltage and moves a specimen on the table along the X and Y axes, and rotates it about the θ axis precisely and exactly. The table is driven by the friction force between the piezoelectric actuator and the table. The stroke and the direction of the table movemen are controlled with a personal computer using a mouse.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1996-04-25

著者

• 坂野 進

  日本大学工学部

• 大越 正弘

  福島県ハイテクプラザ

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