B25-076 DEVELOPMENT OF NANOSCALE THERMAL PROPERTIES MEASUREMENT TECHNIQUE BY USING NEAR-FIELD OPTICS
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概要
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The nanoscale thermal properties are becoming increasingly important for the thermal design of electronic devises as the MEMS technology makes progress. The thermal conductivity of nanoscale thin film is remarkably lower than that of bulk materials because of its various size effects. In addition, the nano-materials will have pointing defects or lattice imperfections during the production process. Therefore, nanoscale thermal properties measurement technique which can be applied in-site or in-process, is required. We have developed a new thermal properties measurement technique by using near-field optics, which targets spatial resolution better than 100nm (up to 10nm) and is applicable to measure the thermal properties of nanoscale materials in-situ. In this article, in order to check the validity of the control system, the topographic image of diffraction grating is monitored. Moreover, the temperature change of Al thin film is detected as a thermoreflectance signal. Finally, the capability of our present work, to measure the thermal properties of nanostructures, is discussed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-11-30
著者
-
斎木 敏治
神奈川科学技術アカデミー
-
Kobayashi M
Dept. Of System Design Engineering Keio University
-
斎木 敏治
慶応大 理工
-
SATO Tetsuya
National Institute for fusion Science
-
TAGUCHI Yoshihiro
School of Integrated Design Engineering, Keio Univ.
-
HORIGUCHI Yukihiro
School of Integrated Design Engineering, Keio Univ.
-
TAGUCHI Yoshihiro
Dept. of System Design Engineering, Keio University
-
KOBAYASHI Mikako
Dept. of System Design Engineering, Keio University
-
SAIKI Toshiharu
Dept. of Electronics and Electrical Engineering, Keio University
-
NAGASAKA Yuji
Dept. of System Design Engineering, Keio University
-
Nagasaka Yuji
Dept. Of System Design Engineering Keio University
-
斎木 敏治
慶應義塾大学理工学部 神奈川科学技術アカデミー
-
Kobayashi Mikako
Dept. Of System Design Engineering Keio University
-
Taguchi Yoshihiro
Dept. Of System Design Engineering Keio University
-
Horiguchi Yukihiro
Dept. Of System Design Engineering Keio University
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