高周波誘導結合型プラズマにおけるArの可視スペクトルの解析
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概要
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Spectroscopic measurement has been carried out for identification of chemical species in inductively coupled Ar plasma. In addition, the excitation temperature has been calculated for each condition by the Boltzmann plot, using relative intensities of spectra for neutral Ar. Only ionized Ar^+ lines were observed at 133 Pa in the low pressure range, while only neutral Ar lines were observed at 8.0×10^3 Pa in high pressure range. At 667 Pa and 8.0×10^3 Pa in high pressure range, the plasma is reached an almost local thermodynamic equilibrium (LTE) and excitation temperatures for these pressure conditions could be calculated. The results indicated temperatures were about 7800 K and 6400 K, respectively.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2000-01-01
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