表面活性剤を用いた半導体結晶成長
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概要
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結晶成長は自然界には存在しない新物質の創生を可能にするという点で魅力的であり, 非常に古くから研究が行われてきた. その結果, 結晶成長の機構について今日までに様々なことが明らかになってきた. 最近の結晶成長の研究の話題の一つにサーファクタント媒介エピタキシーと呼ばれる手法がある. この方法は, 得られる薄膜の構造を制御するために, 表面活性剤(サーファクタント)を用いて結晶成長を行う方法である. 本稿では, サーファクタントを用いた研究が最も多く行われている系であるSi表面上のSiやGeの結晶成長について, 明らかになってきた点やその問題について紹介する.
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-04-05
著者
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