粗面イオン衝撃によるSTM用W探針の作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The morphological evolution of cones development on a tungsten surface during Ar ion bombardment as high as 1 keV has been studied. The presence of irregularities or asperities on the bombarded surface has been found to be more effective in initiating cone formation than varying the doses or energy of the Ar ions. Emery paper has been used to polish the tungsten surface, and cone development during ion bombardment has been observed. These cones can be used as probe tips for scanning tunneling microscope (STM).
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1998-07-05
著者
関連論文
- 薄膜加工による3次元構造体の作製-最近のマイクロマシニング技術III-
- エキシマ・レ-ザ-・アブレ-ションによる生成金属粒子および金属膜の観察
- 薄膜のエキシマ・レ-ザ-・アブレ-ションによる生成粒子形態
- マイクロ成形加工(LIGA)-最近のマイクロマシニング技術IV-
- 電子部品におけるレーザー加工-最近のマイクロマシニング技術II-
- 走査プローブ顕微鏡によるナノ加工-最近のマイクロマシニング技術I-
- エネルギービームによる超微細加工の研究 : -イオンビーム源の開発とシードスパッタリング加工への応用-
- レ-ザ-・アブレ-ション法により堆積した金属薄膜の配向性
- 粗面イオン衝撃によるSTM用W探針の作製