高精度X線露光装置の開発

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概要

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工作物の真円度に及ぼす半径方向回転誤差の影響を3種の旋盤で実験し, パワースペクトルとクロススペクトルの見地から検討を加えた。半径方向回転誤差は球形マスタがつくるギャップ変動の測定から得, 振動も同時に測定した。工作物はダイヤモンドバイトで削り, その真円度は工具送り量に相当する間隔の30断面で測定した。得られた結果は次のとおりである。(1)半径方向回転誤差と真円度の変動成分は電動機と駆動系による振動, 軸受の形状誤差等によって起こされている。(2)半径方向回転誤差に対する真円度の振幅比は約90%である。(3)真円度に影響を与える半径方向回転誤差の寄与率は静圧軸受をもつ精密旋盤で約70%, 三点支持主軸をもつ旋盤で約55%, 二点支持主軸を持つ旋盤で35%である。精度の低い旋盤ではベッドや構成要素に励起される振動が真円度に影響を与えていることを明らかに認めることができる。
1980-04-05

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