3針法或は2個の球による, 對稱及び非對稱をねぢ, めねぢの有効径の決定の際の接触補正

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1940-11-25

公益社団法人精密工学会 | 論文

• 放射光ミラーの超精密加工(X線光学)
• 超音波センサネットを用いた広範囲位置検出システムの開発
• ホログラフィ三次元ディスプレイ( 三次元表示技術の進歩と応用)
• マイクロ放電加工による形状創成(3次元微細形状創成技術)
• KrFエキシマレーザ露光装置用TTLアライメント系の開発

もっと見る

スポンサーリンク