チタン薄膜の熱酸化について
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概要
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It is considered that the use of engineering of the oxidized thin films of metal is passible for thin film capacitors, insulation of MIS, transducers and other divices. As the electrical characteristics of this oxidized thin films differ in types of the oxidized films and the formative conditions, we especially made the fallowing experiments and investigated in the formative conditions caused by thermal oxide. Thin titanium films made by vacuum evaporation, were annealed in the air in order to oxidize. We examind the volume resestivity, thickness and X-ray diffraction with each condition of annealing on these thin oxidized films.
- 近畿大学の論文
- 1977-12-01
著者
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