学位論文要旨及び審査要旨公表 : 負イオンプラズマにおける基板近傍の電位形成に関する実験的検討

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概要

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佐賀大学 | 論文

• マイクロ波プラズマ化学気相法によるダイヤモンド薄膜の成長
• ダイヤモンド薄膜の製造技術の開発及び電子部品生産技術への応用に関する研究(III)
• 半導体素子の製作技術に関する研究
• ダイヤモンド薄膜の製造技術の開発及び電子部品生産技術への応用に関する研究(II)
• ダイヤモンド薄膜の製造技術の開発及び電子部品生産技術への応用に関する研究

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