RFプローブによるプラズマの空間電位測定法
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概要
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Langmuirプローブの高周波(RF)特性を利用してプラズマの空間電位を測定する方法について報告する.この方法の原理はプラズマーシースープローブ系のRFインピーダンスが空間電位に等しいプローブ電圧において著しい特性を持つことに基づいている.この方法の測定精度はきわめて高く,荷電粒子密度とプローブ半径が小さい場合,2mVのオーダで空間電位を測定しえることがわかった.
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