全体論的に据えた機能の概念

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概要

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論文 | ランダム

• 透明SiO_2膜形成とアニールによる屈折率制御
• 3C-SiC基板のレーザーエッチング -反応生成物とエッチング効果-
• 酸素引き抜き反応と保護膜形成反応を同時進行させたSiO_2のレジストレス光エッチング
• 逐次酸化還元による透明SiO_2の室温形成
• SiO_2膜形成を目的としたSi表面の光化学的クリーニング

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