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概要
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- 2007-04-01
論文 | ランダム
- Effect of Nitrogen Doping on Oxygen Precipitate Profiles in Czochralski Silicon Wafer
- Capping Layer on Thin Si Film for $\mu$-Czochralski Process with Excimer Laser Crystallization
- Si Substrate Suitable for Radiation-Resistant Space Solar Cells
- Aggregation of Nitrogen on Oxygen Precipitate in Annealed Czochralski Silicon Wafer Observed by Secondary Ion Mass Spectroscopy Measurement
- 高濃度B添加CZ-Si結晶中の成長界面に垂直に伝播する刃状転位の挙動および形成機構解析 (平成16年度研究費助成受給者研究報告)