微細化へのあくなき挑戦ナノマイクロ立体加工技術の構築とその展開(研究所・研究室紹介)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 2005-08-05

公益社団法人精密工学会 | 論文

• 放射光ミラーの超精密加工(X線光学)
• 超音波センサネットを用いた広範囲位置検出システムの開発
• ホログラフィ三次元ディスプレイ( 三次元表示技術の進歩と応用)
• マイクロ放電加工による形状創成(3次元微細形状創成技術)
• KrFエキシマレーザ露光装置用TTLアライメント系の開発

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