ゲート絶縁膜材料の誘電率の第一原理計算 : 電子系及び格子系の誘電応答解析(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)

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概要

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• 第一原理疑ポテンシャル法に基づき固体誘電体の誘電率を計算するソフトウェアUVSOR(Universal Virtual Spectroscope for Optoelectronics Research)を開発した.誘電体の誘電率は, 電子系及び格子系誘電率からなる.UVSORは, 材料の電子系及び格子系の誘電率を計算でき, ゲート絶縁膜材料の誘電率をほぼ定量的に計算することができる.UVSORは, 格子誘電率が大きいhigh-k材料誘電率の予測及び解析に有効である.UVSORは, フリーソフトウェアであり以下のウエブサイトよりダウンロードできる: http://www.fsis.iis.u-tokyo.ac.jp.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2005-06-02

著者

• 宇田 毅

  アドバンスソフト株式会社第2部

• 籾田 浩義

  物質・材料研究機構

• 濱田 智之

  東大生研

• 大野 隆央

  物材機構:東大生研

• 籾田 浩義

  物質・材料研究機構計算科学センター

• 籾田 浩義

  東京大学生産技術研究所

• 大野 隆央

  独立行政法人 物質･材料研究機構計算材料科学研究センタｰ

• 宇田 毅

  アドバンスソフト

• 山本 武範

  アドバンスソフト

• 濱田 智之

  東京大学生産技術研究所

• 山本 武範

  東大生研:東邦大理

• 山本 武範

  東邦大理:東大生研

• 宇田 毅

  (株)ASMS

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