(100)及び(111)法線配向膜のアシストイオンビームによるスパッタリングレートの比較
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概要
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- 2005-05-31
著者
-
山田 穣
超電導工学研究所
-
塩原 融
超電導工学研究所
-
渡部 智則
超電導工学研究所 名古屋高温超電導線材開発センタｰ
-
衣斐 顕
超電導工学研究所名古屋高温超電導線材開発センター
-
宮田 成紀
超電導工学研究所名古屋高温超電導線材開発センター
-
室賀 岳海
超電導工学研究所 名古屋高温超電導線材開発センター
-
衣斐 顕
超電導工学研究所 名古屋高温超電導線材開発センタｰ
-
宮田 成紀
超電導工学研究所 名古屋高温超電導線材開発センタｰ
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渡部 智則
超電導工学研究所 名古屋超電導線材開発センター
-
室賀 岳海
財団法人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所 線材研究開発部 名古屋高温超電導線材開発センター
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室賀 岳海
超電導工学研究所 名古屋高温超電導線材開発センタｰ
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室賀 岳海
超電導工学研 名古屋高温超電導線材開発セ
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渡部 智則
超電導工学研
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山田 穣
超電導工学研
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塩原 融
超電導工学研
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