カラーイメージングエリプソメータ : 薄膜の広面積高速評価

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概要

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• We have developed Color-Imaging Elliposmeter for measuring in-plane distribution of thin film. Unlike the conventional ellipsometer, this apparatus can measure large area of thin film at high speed. The features of this apparatus are using the incident light with the large diameter for measuring wide area, a 2-dimensional CCD camera, and three wavelengths simultaneously. As an example, we introduce the example of measurement of thickness distribution of SiO<SUB>2</SUB> film on Si substrate and the optical anisotropy of polyimide film with molecular orientation.

• 日本膜学会の論文
• 2003-05-01

著者

• 田ノ岡 大輔

  日本レーザ電子

• 田ノ岡 大輔

  (株) モリテックス

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