イオンダイナミックミキシング法によるチタン酸化膜合成

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概要

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• Prepavation of TiO<SUB>2</SUB> films was performed using a newly developed ion dynamic mixing apparatus. An ECR bucket-type ion source was used to obtain sufficient oxygen ion current for film synthesis with long-term stable operation. The ion beam energy was varied between 5 to 25 keV and the beam current was fixed at 0.5 mA during film deposition. From XRD and laser Raman spectroscopy of prepared films, it was found that TiO<SUB>2</SUB> films of the rutile type alone were fabricated and high energy ion bombardment resulted in crystallization of the films. RBS data of films deposited on carbon plates indicated that an in-flow of cold O<SUB>2</SUB> gases onto the sample from the ion source greatly affected the stoichiometric film composition.

• 日本真空協会の論文
• 1992-01-20

著者

• 本田 和彦

  新日本製鉄株式会社

• 三宅 正司

  大阪大学溶接工学研究所

• 佐藤 守

  通産省工業技術院大阪工業技術試験所

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