支笏およびクッタラ火山のテフロクロノロジー

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概要

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論文 | ランダム

• ストロボ位相シフト干渉法を用いたUSMの過渡振動計測
• 渦電流を用いた変位センサ
• ストロボ位相シフト干渉法を用いたマイクロデバイス表面の過渡振動分布計測
• 圧電素子と電磁石を用いたXYθアクチュエータ
• 静電型マイクロアクチュエータの摩擦力の検討

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