研削表面性状オンマシン計測に関する研究(第6報)

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概要

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• 1998-03-05

論文 | ランダム

• デジタルホログラフィの最近の進展 (特集 新しい画像センシング技術)
• センシングとナノテクのための光工学に関する国際会議ICOSNの開催
• 波長可変レーザーを用いた干渉計における段差測定の高感度化
• 半導体レーザーの光フィードバックを利用した能動型干渉計 (特集 フィードバック干渉計)
• 機上形状計測におけるプローブ取付誤差の測定精度への影響

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