Ti/Siバルク拡散対内におけるTiシリサイドの成長挙動に及ぼすチタンの純度の影響
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概要
著者
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若松 良徳
九州工業大学工学部
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下崎 敏唯
九州工業大学機器分析センター
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若松 良徳
九工大・工
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若松 良徳
九州工業大学工学部 物質工学科 材料教室
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筑丸 健治郎
九州工業大学機器分析センター
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大西 正已
九州工業大学工学部物質工学科
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大西 正已
大韓民国昌原大学校工科大学材料工学科
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下崎 敏唯
九州工業大学
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岩松 良徳
九州工業大学
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