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Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht– und Ionentechnik, D–52425 Jülich, Germany | 論文著者
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Münder Herbert
Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht– und Ionentechnik, D–52425 Jülich, Germany
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Mück Michael
Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht– und Ionentechnik, D–52425 Jülich, Germany
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Grimm Michael
Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht– und Ionentechnik, D–52425 Jülich, Germany
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Peter Frank
Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht– und Ionentechnik, D–52425 Jülich, Germany