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National Inst. of Adv. Industrial Sci. and Tech. (AIST):JST-CREST | 論文

• 811 低周波数振動領域で使用可能なワイヤレスセンサ端末のための圧電MEMSスイッチ(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)

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