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Mitsubishi Cable Ind. Ltd. Hyogo Jpn | 論文

• 光リソグラフィ応用技術の研究
• プリント基板上のレジストパタンをめっき雌型とするマイクロ部品製作技術の検討
• レーザ走査リソグラフィによる微細管・線材上への螺線パターン形成
• マイクロ電気・機械システム用低コストリソグラフィ技術
• 液晶マトリックス投影露光の厚膜紫外線レジストへの適用
• 光応用・視覚技術の最前線

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