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（株）日立製作所 横浜研究所 | 論文

• 点群分布パターン識別に基づく欠陥分類技術
• 決定木を利用したルール設定支援機能を備えた設備監視システム
• 散乱光分布を利用した半導体ウエハ上の欠陥種分類および寸法推定に関する研究

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