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電気電子工学科 | 論文
- 学習・教育目標におけるアンケート集計作業の効率化と教育実践
- 福井高専「環境生産システム工学」プログラムの学習・教育目標に関する考察(自然科学・工学)
- 福井高専「環境生産システム工学」プログラムの学習・教育目標に関する考察(自然科学・工学)
- Siウェーハの少数キャリヤ拡散係数
- Catalytic-CVDによるSi上アルミナ生成におけるTMA/O_2分解の質量分析
- 接触電位差によるSiウェーハ表面層評価
- Cat-CVDアルミナMISゲートの作製と特性
- Siウェーハ表面層のマイクロ波光導電周波数応答による評価
- UV/ミリ波PCD法における最大感度条件とSiエピタキシャルウェーハおよび極表面層評価
- 電子ビームによるシリコン表面層のトモグラフィの検討
- Si表面層H_+イオン注入ダメージのパルス光電導振幅(PPCA)による評価
- 熱起電力型フローセンサー
- UV/ミリ波PCD法における最大感度条件とSiエピタキシャルウェーハおよび極表面層評価 (学外発表論文) -- (第3プロジェクト〔複合インテリジェント集積素子の研究開発〕関係)
- Siilcon Wafer Subsurface Characterization with UV/Millimeter-Wave Technique (学外発表論文) -- (第3プロジェクト〔複合インテリジェント集積素子の研究開発〕関係)
- 電子ビームを用いたSiウェーハ表面層評価法の検討
- 水素イオン注入Siウェーハ表面層のPCAによる評価
- 鏡面研磨Siウェーハ表面層のパルス光導電振幅による評価
- 青色レーザ/マイクロ波光導電を用いたシリコンウェーハ表面層の評価
- UV/ミリ波光導電法によるシリコンウェーハ研磨時表面／表面層の評価
- 研磨時シリコンウェーバのバルクキャリヤライフタイムと表面再結合速度の非接触測定