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立命館大学　総合理工学研究機構 | 論文

• 流体MEMSキャパシタの高周波等価回路モデルの検討
• 流体MEMSキャパシタの高周波等価回路モデルの検討
• MEMSスイッチを用いたフェイズドアレイアンテナの基礎検討

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