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独立行政法人産業技術総合研究所(AIST):フォトニクス・エレクトロニクス融合システム基盤技術研究機構(PECST) | 論文

• 側面格子導波路を有するPIN型シリコン変調器の高速・高効率動作の検討(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般)

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