スポンサーリンク
東北大学WPI-AIMR | 論文
- 高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
- 非平面微細加工技術を用いた細径能動屈曲電子内視鏡の作製
- マイクロマシニング・MEMS技術を用いた低侵襲医療機器の開発
- 光マイクロスキャナーの低侵襲医療への応用 (特集 光で/を動かす技術)
- マイクロ・ナノマシニング技術を用いた低侵襲医療機器の開発(低侵襲医療技術と精密工学)
- 円筒面レーザプロセスを用いた低侵襲医療機器の開発
- 安全安心をめざす,医療機器へのマイクロシステムの応用(安全・安心)
- 血管内前方視超音波イメージングプローブの開発
- 形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡
- 26.CCDカメラを搭載した能動カテーテル(平成17年度東北支部大会抄録)
- 25.形状記憶合金コイルと多段階磁気ラッチを用いた3次元ピンディスプレイの開発(平成17年度東北支部大会抄録)
- S0305-1-4 プロトン導電性電解質を用いた中低温作動マイクロSOFCの作製と発電特性(SOFC構成材料の信頼性(1))
- MEMS技術の変遷と応用
- D213 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
- カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
- MEMSデバイス : 実用化動向
- マイクロマシン/MEMSと信頼性(「信頼性・保全性・安全性の事例:機械装置とシステム編」〜信頼性ハンドブック出版から10年を経て〜)
- センサ大化けの原動力MEMS技術 MEMSセンサ,半導体の"DNA"獲得で高性能,複合機能,高信頼へと進化 (NEプラス 最新技術を基礎から体系的に理解 機器開発者のためのセンサ工学)
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発