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東北大学　大学院工学研究科　ナノメカニクス専攻 | 論文

• 携帯型燃料電池のための燃料制御用マイクロバルブ
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
• LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
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