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日立ハイテクサイエンス | 論文
28pPSA-3 電界電離型ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置により試作したInGaAs量子ポイントコンタクトの評価(28pPSA 領域4ポスターセッション,領域4(半導体,メゾスコピック系・局在))
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