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大阪府中小企業支援センター | 論文

• スパッタ法により形成したAlN/Cu/AlN積層膜の電気・光学特性
• 気相薄膜形成技術--基礎編(第5回)化学気相成長法(CVD法)
• 気相薄膜形成技術 基礎編(第4回)イオンプレーティング法
• 気相薄膜形成技術--基礎編(3)スパッタリング法

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