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大阪工業大工 | 論文
- 超音波デバイス 単結晶シリコン加速度センサの新構成--横振動子の軸力による共振周波数変化を利用したMEMSセンサの実現を目指して
- P1-17 単結晶シリコン加速度センサの有限要素法による構造設計(ポスターセッション1(概要講演))
- P2-14 単結晶シリコン加速度センサの構成(ポスターセッション2(概要講演))
- P3-32 共振周波数変化を利用した平面型加速度センサの基礎的考察(ポスターセッション3,ポスター発表)
- 1Pa-35 結合型振動子を用いた加速度センサの構成(ポスターセッション)
- 3Pb3-5 力センサ用結合型横振動子の特性解析(ポスターセッション)
- 3Pb3-1 交差結合型振動子を用いた2軸加速度センサの構成(ポスターセッション)