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協同電子システム | 論文
等価剛性法に基づく磁気記録評価装置用PZT微動アクチュエータの構造設計(計測制御・ロボット2)
スピンスタンドに適用するNano-motion Actuatorのロバスト制御(S62-1 機構・制御(1),S62 情報機器コンピュータメカニクス)
3216 磁気記録評価装置用 PZT 微動アクチュエータのロバスト制御
3215 磁気記録評価装置用 PZT 微動アクチュエータの構造設計
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