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中部大学工学部 | 論文
- 誘導結合型フロロカーボンプラズマの解析
- 電子線型加速器のビームエネルギーの統計的解析とその制御
- 直流超電導送電システムの検討
- 核融合研究と国際交流(核融合の歴史を遺す座談会,核融合50周年記念「我が国における核融合の歴史と将来展望」)
- 直流超伝導送電ケーブルへのPCLの適用
- ペルチェ電流リードを用いた無冷媒マグネットの熱侵入の低減IV
- ペルチェ電流リードを用いた無冷媒マグネットの熱侵入の低減III
- PCLを用いた無冷媒超伝導マグネットの熱侵入低減
- 周波数シフトプローブにおける膜堆積の影響
- 周波数シフトプローブの電子温度計測への応用
- 周波数シフトプローブを用いた電子密度測定におけるプローブ形状の影響
- デュアル表面波プローブを用いた電子密度・電子温度の計測
- プラズマイオン注入における平板ターゲットの二次電子放出率の計測
- 29pA10P プラズマからの真空紫外光とプラズマイオン注入における二次電子放出係数(プラズマ基礎・応用)
- 半導体検出器を用いたプラズマイオン注入における二次電子計測
- 27aA04 プラズマ吸収プローブを用いた有磁場プラズマの密度測定(プラズマ基礎・応用)
- 高周波バイアスを用いた高密度プラズマエッチャー内壁における膜堆積抑制
- イオン衝撃による酸化膜エッチャーの壁制御
- 26aB6 新しい高周波バイアス法による壁制御とエッチングへの応用(ヘリカル/プラズマ応用)
- 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成