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エア・ウォーター | 論文

• 高分子材料に対する大気圧プラズマ処理
• エキシマランプによるシリコンウェハのSiO_2膜の還元プロセス
• アクティブバッファ型パルスチューブ冷凍機の数値解析(パルス管冷凍機,熱音響機器及び関連要素と応用システム(1))

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