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ウシオ電機 (株) | 論文

• S-8 誘電体バリア放電励起エキシマランプ
• 49. 誘電体バリア放電Xe_2^*エキシマランプの並列点灯による大面積真空紫外平面光源
• 48. 中空ライトガイド付きヘッドオン型Xe_2^*エキシマ光照射装置
• 真空紫外エキシマランプ光CVDによるシリカ薄膜常圧形成技術の開発
• 紫外エキシマランプの最新技術
• 172nm真空紫外光で励起したアンモニアガスの脱硝反応特性

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