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(株)安川電機つくば研究所 | 論文
- マイクロマシン技術の研究開発--マイクロサーボアクチュエータとマイクロ駆動機構
- 予見学習制御とその精密旋盤への応用
- ARMAXモデルを用いた予見繰返し制御
- 操作遅れと検出遅れを考慮した予見繰返し制御
- 離散時間予見繰返し制御系とその安定性に関する一考察
- 高速・高精度加工のための予見学習サーボ制御機器(最近の制御技術と精密加工)
- マイクロ世界の運動:バクテリアとべん毛モータ
- リニアモータによる高速位置決め制御(最近のFA制御とネットワーク技術)
- マイクロトルク測定装置の開発(マイクロ機構の測定・評価技術)
- 電子ビーム蒸着法におけるビームスキャンニング時の蒸発量の変動