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Miyata Koji | School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-01, Japan
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School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-01, Japan | 論文
Kinetics of Radicals in CF 4 and C 4F 8 Electron Cyclotron Resonance Plasmas
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