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El-Khamy Mostafa | アレクサンドリア大学
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STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化
シリコンウェハの加工 STI用固定砥粒CMP (特集 高付加価値を生み出す固定砥粒研磨技術)
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