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山田 衛 | 群馬大学第一内科およびその協力機関
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酸素プラズマ中でのSi表面水素の拳動
走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
基板表面磁界がスパッタ薄膜結晶配向性に及ぼす影響
半導体表面・界面反応の赤外分光観察
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