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新家 薫 | 順天堂大学院
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熱式MEMSフローセンサ (特集:空圧用流量センサ(2))
熱式フローセンサの開発--MEMSによる熱式半導体センサを応用したフローセンサの開発
鉛フリーはんだのためのリフローセンサ及びリフローシミュレータ (特集 モノづくり力の強化)
微小電気機械システム(MEMS)技術によるマイクロセンサ (特集 センサ材料・センシング技術最前線)
マイクロフローセンサと質量流量計シリーズ
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